لینک دانلود و خرید پایین توضیحات فرمت فایل word و قابل ویرایش و پرینت تعداد صفحات: ۱۵ حکاکی لایه نازک SiO2 معمولاً بوسیله رقیق کردن یا Buffer کردن HF انجام می شود. حکاکی های PSG 10 بار سریع تر از اکسید رشد یافته حرارتی می باشد. حکاکی Anisotropic در مورد Si با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون در ترکیبی از C2 F6 و CH3F انجام می شود. قابلیت انتخاب روی Si خوب است، امّا روی Si3N4 خوب نیست . حکاکی لایه نازک Si3N4 حکاکی کننده تر در دمای H3PO4,140 – 200C می باشد. SiO2 حاصل از لایه نشانی بخار شیمیایی یک ماسک حکاکی خوب است. قابلیت انتخاب روی Si خیلی خوب است. حکاکی Anisotropic برای Si3N4 با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون ( Ion assisted Plasma etching ) در ترکیبی از C2F6 و CH3F انجام می شود. حکاکی قربانی ( sacrificial ) قابلیت انتخاب حکاکی sacrifical روی Si باید خیلی بالا باشد. مواد متداول مورد استفاده PSG و Photorestis , Polyimide ها می باشند. PSG با استفاده از Resist برداشته می شود. Polyimide ها با استفاده از حکاکی پلاسما برداشته می شوند. ۲ – 14 – ساختار پ …
این وبسایت با هدف انتشار و دانلود برنامه ، نرم افزار مقاله ، تحقیق ، نمونه پروژه ، جزوه ، کتب رفرنس ، ترجمه مقالات ، طرح توجیحی ، گزارش کارآموزی، فایل سورس ، پروپازول ، نمونه اقدام پژوهی ، به صورت آنلاین با منابع جدید فارسی و لاتین در انواع فایل ورد پاورپونت اکسل نقشه های اتوکد PPT WORD و غیره در فایل زیپ جهت ارتقا دانش و ترویج علوم می باشد هرگونه استفاده ی نا صحیح از این منابع بر عهده خود شخص می باشد . این وب سایت ثبت شده در ستاد ساماندهی، جهت همکاری در فروش فایل ایجاد گردیده و کلیه لینک محصولات از وب سایت هایی مانند فایل سل می باشد که دارای نماد اعتماد الکترونیک هستند. در صورتی که جزو فروشنده گان هر یک از سیستم فروش های بالا می باشید و فایل خود را از این وب سایت ها حذف نموده اید و خواهان حذف لینک آن از این سایت هستید درخواست خود را با ما در میان بگزارید تا در اسرع وقت بررسی شود. همچنین در صورت شکایت از فروشنده هر کدام از فایل ها از لحاظ نقض جقوق کپی رایت،سرقت و….. و یا ارتباط با فروشنده ، می توانید پس از کلیک برروی دانلود در صفحه محصول، به وب سایت فروشنده منتقل شوید و با فروشنده آن فایل در ارتباط باشید. همچنین اگر قصد راه اندازی چنین وبسایتی را دارید با ما در تماس باشید